TU Bergakademie Freiberg, Institut für NE-Metallurgie und Reinststoffe, Leipziger Str. 23, D-09596 Freiberg, Germany
*TU Bergakademie Freiberg, Institut für Experimentelle Physik, Silbermannstr. 1, D-09596 Freiberg, Germany
Incorporation of Carbon by VGF-Growth of GaAs
<100> oriented GaAs single crystals with carbon concentrations in the range of 1014 to 1016 cm-3 were grown by the vertical Gradient-Freeze-Method (VGF) in sealed quartz glass ampoules. The stable isotope 13C was used as doping material. Because of the application of carbon isotopes it is possible to distinguish between the carbon contained in the starting material (12C) and the incorporation from the gaseous phase (13C). The carbon concentration on the arsenic sublattice site was investigated by FTIR spectroscopy from absorption of local modes.
<100> orientierte GaAs Einkristalle mit Kohlenstoffkonzentrationen im Bereich von 1014 bis 1016 cm-3 wurden in geschlossenen Ampullen mit dem vertikalen Gradient Freeze Verfahren (VGF) gezüchtet. Als Dotierstoff wurde das stabile Isotop 13C verwendet. Durch den Einsatz von Kohlenstoffisotopen kann zwischen dem im Ausgangsmaterial (12C) enthaltenen und den über die Gasphase eingebauten Kohlenstoff (13C) unterschieden werden. Die CAs -Konzentration der gezüchteten Kristalle wurde mit Hilfe der FTIR-Spektroskopie aus der Lokalmodenabsorption bestimmt.
Keywords: VGF, local modes (LVM), carbon incorporation
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